超细无尘布

特点

  • 材质工艺
    • 100% 聚酯纤维或涤锦复合(7:3),纤维直径≤1μm,激光封边 / 超声波切割(无毛屑脱落),克重 80-120g/m²,表面电阻率≤10¹⁰Ω(防静电型)。
    • 生产于 Class 10 级无尘车间,经超纯水 + IPA 双重清洗,颗粒污染≤1 个 / 100cm²(≥0.3μm),离子残留≤1ppm(Na⁺/Cl⁻),TOC≤20ppb。
  • 清洁性能
    • 吸液量≥20ml/100cm²,对 0.1μm 颗粒吸附率≥99.99%,可清除光刻胶残迹、指纹油(残留量≤0.01μg/cm²),兼容强酸 / 碱溶剂(pH 2-12)。
    • 可承受 200 次湿热清洗(121℃,30min),性能保持率≥95%,边缘抗磨损(摩擦 500 次无起毛)。
  • 规格适配
    • 尺寸 10cm×10cm~20cm×20cm,表面分平纹 / 网格纹(网格密度 200-500 线 /inch),适配手动擦拭或自动化机械臂。

应用范围

  • 半导体制造
    • 晶圆厂(光刻前清洁,颗粒控制≤10 个 / 晶圆)、封装工序(倒装焊芯片表面除尘)。
  • 精密光学
    • 镜头镀膜车间(镀膜前擦拭,纤维残留≤0 根 / 镜片)、OLED 面板厂(去除基板异物)。
  • 医疗设备
    • 植入器械组装(洁净室环境,无纤维污染风险)、精密导管内壁清洁(需定制细条状无尘布)。
  • 航空航天
    • 传感器芯片封装(耐极端温度 – 196℃~200℃)、卫星光学元件预处理(真空环境适用)。

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