洁净室

特点

• 高洁净等级：按 ISO 14644 标准划分（Class 1-9 级），空气中≥0.5μm 颗粒数从 100 级（≤3520 个 /m³）到 10 万级（≤3520000 个 /m³）。
• 气流控制：采用垂直 / 水平单向流或乱流送风，换气次数 10-600 次 / 小时，确保污染物快速排出。
• 环境受控：温湿度严格调节（如 20±2℃，50±5% RH），压差维持 5-10Pa 防止交叉污染。
• 材料抗污染：墙面 / 地面使用不锈钢、环氧树脂等易清洁、不产尘材质，接缝处圆弧处理。

应用范围

• 半导体 / 电子：晶圆制造（Class 100 级）、芯片封装的纳米级洁净环境。
• 医疗制药：无菌手术室（Class 1000 级）、注射剂生产车间（符合 GMP）。
• 食品 / 化妆品：无菌冷灌装线（Class 10 万级）、化妆品膏体生产间。
• 航空航天：精密仪器组装、航空电子设备洁净装配间。
• 生物实验室：细胞培养、基因工程实验的生物安全洁净室。