洁净室清洁剂

特点

• 高纯度配方：去离子水基质，无挥发性有机物（VOC≤0.1%），离子残留≤10ppb，金属元素含量≤1ppm。
• 高效清洁：pH 值中性（6.5-7.5），适配油脂、光刻胶、蛋白等污渍，擦拭后表面颗粒≤0 个 /ft²（≥0.3μm）。
• 低发尘特性：喷雾粒径≤50μm，挥发后无残留，液体本身颗粒数≤10 个 /ml（≥0.5μm）。
• 兼容性强：通过 ISO 10993 生物相容性测试，可用于医疗级材质（如不锈钢、硅片、PMMA）。

应用范围

• 半导体制造（Class 10 级）：光刻机镜头、晶圆表面光刻胶残留清洁。
• 医疗无菌环境（A 级洁净区）：手术器械、透析设备的微生物与化学残留清除。
• 光学精密仪器：显微镜载玻片、激光镜片的无划痕清洁。
• 生物实验室：细胞培养皿、PCR 设备的核酸污染防控。