半导体器件静电防护 :预防ESD,确保设备可靠性

半导体器件静电防护 :预防ESD,确保设备可靠性

在半导体器件遭受静电放电(ESD)后,失效表现主要可归结为两种情况:

1. 介质击穿导致的失效:半导体器件中包含多种介质材料,其介电性能因材料种类和厚度不同而异。当静电脉冲电压超过介质的耐压能力时,可能导致介质击穿。这种击穿会直接损坏器件,尤其容易发生在以下情况:

防静电手套:静电防护与广泛应用

防静电手套是由特殊的防静电聚酯布制成,具备导电纤维,可避免静电的产生和损害。其导电纤维之间的距离可以选择,适用于电子、半导体等静电敏感环境,有助于维护设备完整性。与普通手套不同,防静电手套是关键的静电防护工具,能够确保工作环境的安全性和产品质量。

  • 栅氧化层介质击穿:对于MOS或IGBT等器件,栅氧化层相对较薄,如果静电电压超过其耐压能力,可能发生击穿。
  • 金属层间介质击穿:集成电路需要多层金属布线,金属层之间的介质层可能击穿,导致金属短路,损坏器件。
  • 多晶硅上的介质击穿:多晶硅用于栅极连接或电阻,其上通常有金属布线,介质层击穿可能发生。
  • 场介质层击穿:场介质层通常较厚,但如果受损,静电击穿可能更容易发生。

2. 大电流导致的器件失效:不同半导体结构和材料具有不同的电流承受能力。当静电电流超过器件能够承受的电流时,可能导致器件过热烧毁。具体情况包括:

  • PN结过流损伤:PN结通常能承受较大的正向电流,但反向击穿时会产生大电流。如果静电电流超过了其正向或反向承受能力,可能导致PN结局部过热,引发短路。
  • 金属导线烧毁:尽管金属导线具有良好的导电性,但某些连接线的电流承受能力有限。当静电电流超过其承受能力时,可能导致导线过热烧毁。

在使用半导体器件时,必须谨慎处理,特别是在防止ESD损坏方面,采取适当的防护措施和操作方法至关重要,以确保器件的正常工作和可靠性。无尘防静电耗材了解更多

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