表面污染特点

• 多样性：类型包含颗粒（粒径≥0.1μm）、化学残留（离子 / 有机物）、生物污染（微生物≥10CFU/cm²）、静电吸附（电荷≥1nC）。
• 隐蔽性：部分污染物肉眼不可见（如分子级残留），需专业检测（粒子计数器 / 光谱分析）。
• 危害性：影响功能（电子元件短路概率↑30%）、外观（透光率下降≥5%）、安全性（微生物超标致病风险）。

表面污染范围

• 应用场景：
  • 电子制造：晶圆颗粒污染（缺陷率↑50%）、PCB 焊剂残留（腐蚀风险）；
  • 医疗行业：手术器械生物污染（感染率↑20%）、药品包装颗粒异物；
  • 食品加工：设备油脂残留（微生物繁殖速度↑40%）、包装材料化学迁移。
• 检测方法：
  • 物理：激光粒子计数器（检测 0.1μm 以上颗粒）；
  • 化学：离子色谱（检测 Na⁺/Cl⁻≤1ppm）、TOC 分析仪（有机物≤50ppb）；
  • 生物：ATP 荧光检测（微生物≤1RLU）。