一、洁净室设计

1. 设计目的

洁净室设计的核心目的是控制空气中的粒子浓度、温湿度、压力、气流速度、噪音、照度和静电等环境参数，确保产品或实验过程不受污染，满足高精度制造或研究需求。

2. 主要设计要素

• 洁净等级（Cleanliness Class）
  按照ISO 14644 或 FS209E 标准分类，如 ISO Class 1–9 或 FED Class 1–100,000。

• 气流模式

  • 单向流（层流）：水平层流或垂直层流，适用于高等级洁净室（ISO 1-5）

  • 非单向流（乱流）：适用于低等级洁净室（ISO 6-9）

• 换气次数（ACH）
  根据洁净等级设定，如 ISO 5 通常要求每小时换气240~480次。

• 温湿度控制

  • 温度：一般为20°C±2°C

  • 湿度：45%RH±5%RH（可根据具体工艺需求调整）

• 压差控制
  保持洁净区高压，防止污染空气倒灌；如洁净区与外部压差 ≥10Pa。

• HEPA/ULPA 过滤系统
  高效过滤空气，通常设于送风口，效率为99.97%（HEPA）或更高（ULPA）。

• 装修材料
  墙面、地面、天花板使用防静电、低颗粒、易清洁材料，如PVC、烤漆钢板、环氧树脂地坪等。

二、洁净室操作

1. 人员管理

• 穿戴无尘服（洁净服、帽、手套、口罩、鞋套等）

• 进入洁净区前需经过风淋室除尘

• 严格遵守进出流程及操作规范

2. 物料管理

• 物品进出通过传递窗

• 包装需防尘、防静电，物品需洁净处理后方可进入

3. 日常维护

• 定期更换 HEPA 过滤器

• 定期检测洁净度、温湿度、压差、气流速度

• 使用无尘布、无尘纸、IPA酒精等合规清洁工具进行清洁

4. 行为规范

• 避免大动作、奔跑、讲话过多，减少颗粒产生

• 严禁携带粉尘、纸张、木制品、开口饮料等进入洁净室

三、应用范围