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首页 » 洁净室环境

Tag Archives: 洁净室环境

  • 高洁净度控制:通过高效空气过滤系统(HEPA/ULPA 过滤器)去除空气中≥0.1μm 的微粒,洁净等级从 ISO 1 级(颗粒数≤10 个 /m³)到 ISO 9 级(颗粒数≤35200000 个 /m³),严格限制悬浮粒子与微生物浓度。
  • 气流组织标准化:
    • 单向流(层流):气流沿单一方向匀速流动(如垂直层流、水平层流),用于高等级洁净室(ISO 5 级及以上),确保微粒快速排出。
    • 非单向流(乱流):气流无固定方向,通过稀释作用降低污染,适用于较低等级洁净室(ISO 6-9 级)。
  • 环境参数精密调控:
    • 温湿度:通常控制在温度 20±2℃、湿度 45%-60% RH,满足精密工艺需求(如半导体光刻需恒温)。
    • 压差:不同区域保持 5-10Pa 正压差,防止外界污染侵入,洁净等级越高压差要求越严格。
  • 建筑材料密封性强:采用不锈钢、环氧树脂等防尘、耐腐蚀材料,墙面与地面无缝衔接,门窗使用密封胶条,减少缝隙漏尘。
  • 人员与物料严格管控:
    • 人员需穿戴连体洁净服、口罩、手套,经风淋室除尘后进入;
    • 物料通过传递窗消毒(如紫外照射、酒精擦拭),禁止未净化物品直接进入。

洁净室环境范围

  • 应用领域:
    • 半导体制造:芯片光刻、蚀刻、封装环节(需 ISO 1-5 级洁净室),控制微尘防止电路短路。
    • 医药卫生:
      • 无菌药品生产(注射剂、疫苗):需 ISO 5 级(百级)洁净室;
      • 手术室、静脉用药调配中心(PIVAS):需 ISO 6-7 级(千级 – 万级)洁净环境。
    • 食品与化妆品:高洁净灌装线(如无菌果汁包装、化妆品膏体配制),需 ISO 7-8 级(万级 – 十万级)洁净室。
    • 科研与航天:
      • 生物安全实验室(BSL-3/4 级):研究高致病性微生物,需负压洁净室防止污染扩散;
      • 航空航天精密部件装配(如传感器、发动机零件):需 ISO 5-6 级洁净环境。
  • 等级分类:
    • 国际标准:ISO 14644-1(按颗粒浓度划分 1-9 级),取代传统联邦标准 209E。
    • 行业标准:
      • 医药行业:遵循 GMP 规范,区分 A 级(动态百级)、B 级(静态百级)等;
      • 电子行业:根据芯片制程精度,需 ISO 1-3 级(纳米级工艺)至 ISO 5 级(微米级工艺)。
  • 核心系统与设备:
    • 净化空调系统(HVAC):含初效 – 中效 – 高效过滤器三级过滤,控制气流循环与温湿度;
    • 风淋室 / 货淋室:利用高速气流清除人员 / 物料表面灰尘;
    • 压差监测仪:实时显示区域间压差,确保气流方向正确;
    • 粒子计数器:动态监测空气中微粒浓度,验证洁净度达标。
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