洗净

特点

• 多级清洗工艺：预洗（去离子水冲淋）→ 主洗（中性洗涤剂超声 / 喷淋）→ 精洗（兆声 + RO 水）→ 干燥（HEPA 过滤热风吹干），颗粒残留≤5 个 /ft²（≥0.5μm）。
• 低污染控制：清洗剂 VOC≤0.1%，离子残留≤10ppb，金属元素≤1ppm，符合 ISO 14644-5 标准。
• 材质适配性：针对不锈钢、硅片、玻璃等材质定制方案，避免腐蚀（如医疗级器械采用纯水电化学清洗）。
• 追溯体系：每批次清洗记录可查，包括水质参数、清洗时间、颗粒检测报告。

应用范围

• 半导体零部件：晶圆载具、真空腔体的超净清洗（Class 10 级需求）。
• 医疗精密器械：手术刀具、内窥镜的微生物与化学残留清除（符合 GMP 灭菌前清洗标准）。
• 光学元件：激光镜片、摄像头模组的无划痕清洁，确保透光率≥95%。
• 航空航天材料：涡轮叶片、传感器部件的油污与金属碎屑清洗。