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洁净室设备
特点
低发尘材质
:主体采用 316L 不锈钢 / 导电聚丙烯(PP),表面电解抛光,颗粒脱落≤5 个 /ft²(≥0.5μm)。
密封设计
:接缝处激光焊接 / 圆弧过渡,无积尘死角,防护等级≥IP54,防液体 / 颗粒侵入。
防静电功能
:接地端子表面电阻≤10⁶Ω,配套部件(如把手、按钮)均为导电材质。
灭菌适配
:可耐受高温湿热灭菌(121℃)、紫外线或臭氧消毒,符合 ISO 14644-1 标准。
应用范围
半导体晶圆产线
(Class 10 级):光刻机、沉积设备的洁净环境适配。
医疗制药车间
(B 级洁净区):无菌灌装机、冻干机的微生物控制。
生物安全实验室
(BSL-3 级):负压隔离设备、生物反应器的污染防控。
精密仪器制造
:航空航天传感器、光学镜头组装设备的超洁净需求。
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