百级洁净室

特点

• 空气洁净度：ISO 4 级（Class 100），≥0.5μm 颗粒≤100 个 /ft³，换气次数≥600 次 /h，浮游菌≤5CFU/m³。
• 气流控制：垂直单向流（风速 0.3-0.5m/s），吊顶 FFU 风机过滤单元（效率≥99.999%@0.3μm），压差≥10Pa（相邻区域）。
• 环境参数：温度 20±2℃，湿度 45±5% RH，噪声≤65dB，照度≥500lux，静电泄漏电阻 10⁶-10⁹Ω。
• 建筑材料：不锈钢墙板（表面粗糙度 Ra≤0.8μm）、环氧树脂自流平地面（耐磨≥8H），无释放性挥发物（TVOC≤50μg/m³）。

应用范围

• 半导体制造：晶圆光刻（28nm 以下制程）、芯片封装（键合工序）。
• 精密光学：镜头镀膜（纳米级精度）、光电器件组装（如激光二极管）。
• 医疗无菌：注射剂灌封（A 级洁净区）、植入器械组装（如心脏起搏器）。
• 航空航天：惯性导航系统（INS）精密部件装配、卫星传感器校准间。