无尘室是为了确保工业生产过程中的洁净度而设计的特殊环境。无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气是浮微粒浓度从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。这种环境的主要目的是降低空气中的粒子数量，特别是在微观尺寸范围内，以防止对产品制造的影响。
- 尘粒标准： 根据美国联邦政府的标准（Federal Standard 209E,1992），无尘室被分为六个等级，分别是1级、10级、100级、1000级、10000级和100000级。这些等级基于空气中的最大尘粒数量，通常以每立方英寸的计数来表示。
- 尘粒尺寸： 根据标准，尘粒的尺寸通常被假定为0.5微米。然而，如果尘粒尺寸不同，等级应该以特定尺寸下的尘粒密度来表示。
- 洁净度要求： 集成电路制造对无尘室的要求非常高，通常需要等级在1000级以上的洁净度。这是因为微小的尘粒对集成电路的制造和性能可能产生不良影响。
- 穿戴规定： 为了维持无尘室的洁净度，进出的人员需要遵循特定的穿戴规定。在10000级和100000级的无尘室中，人员必须穿戴长袍无尘衣、无尘防静电鞋、带帽子和面罩。在1000级及以上的无尘室，人员需要穿戴特殊的洁净连身衣、无尘鞋，并戴上手套和面罩。
- 尘粒可能的影响： 尘粒对集成电路的制造和性能可能产生负面影响。例如，金属尘粒可能导致导线短路，而酸性尘粒可能引起金属腐蚀，从而降低产品的可靠性。
总体而言，无尘室在保障微电子和半导体制造中的洁净生产环境方面扮演着至关重要的角色。